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科技 | 中国刻刀来了!首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉

近日,全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

标签: 科技电子束光刻机 发布时间: 2025-08-21

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