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一种三维电感线圈及其制备方法

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专利号 2016100931430 专利名称 一种三维电感线圈及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B81B7/00;H01F17/00;H01F27/28;B81C1/00;H01F41/18;H01F41/04;H01F41/20
申请人 林志苹 申请地址 浙江省宁波市江东区甬港南路52弄舟孟社区18号701室
发明人 林志苹 申请日期 2016-02-21
下证状态 已下证 更新时间 2022-09-19 11:27:44
专利摘要 本发明针对现有MEMS三维电感线圈存在的不足,提供一种三维电感线圈,包括柔性衬底、薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极、绝缘层、磁芯薄膜、引线,其中,软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底的一边,磁性电极位于柔性衬底的另一边,且柔性衬底上两边的电极通过薄膜导线连通;柔性衬底沿着中心线弯折后,通过磁性电极与软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极的吸引,自动实现三维电感线圈电极的对应和连通。本发明采用柔性衬底、磁性电极,结构、制备方法简单,只需要光刻的lift?off工艺,不需要后续刻蚀工艺,适合低成本的MEMS三维电感的制作,也为发展新型的三维MEMS电感提供了思路。

交易流程

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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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