发明专利
专利类型已下证
专利状态2016100931430
专利号专利号 | 2016100931430 | 专利名称 | 一种三维电感线圈及其制备方法 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B81B7/00;H01F17/00;H01F27/28;B81C1/00;H01F41/18;H01F41/04;H01F41/20 |
申请人 | 林志苹 | 申请地址 | 浙江省宁波市江东区甬港南路52弄舟孟社区18号701室 |
发明人 | 林志苹 | 申请日期 | 2016-02-21 |
下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2022-09-19 11:27:44 |
专利摘要 | 本发明针对现有MEMS三维电感线圈存在的不足,提供一种三维电感线圈,包括柔性衬底、薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极、绝缘层、磁芯薄膜、引线,其中,软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底的一边,磁性电极位于柔性衬底的另一边,且柔性衬底上两边的电极通过薄膜导线连通;柔性衬底沿着中心线弯折后,通过磁性电极与软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极的吸引,自动实现三维电感线圈电极的对应和连通。本发明采用柔性衬底、磁性电极,结构、制备方法简单,只需要光刻的lift?off工艺,不需要后续刻蚀工艺,适合低成本的MEMS三维电感的制作,也为发展新型的三维MEMS电感提供了思路。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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