发明专利
专利类型已下证
专利状态201310181036X
专利号专利号 | 201310181036X | 专利名称 | 外延光栅FP腔与微环谐振腔级联型光学生化传感芯片 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N21/45;G01N21/17 |
申请人 | 四川弘毅智慧知识产权运营有限公司 | 申请地址 | 四川省成都市成都高新区高朋大道5号1栋110室 |
发明人 | 王卓然;袁国慧;高亮 | 申请日期 | 2013-05-16 |
下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2022-09-19 11:23:20 |
专利摘要 | 本发明的外延光栅FP腔与微环谐振腔级联型光学生化传感芯片,包括依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体,SOI基体的单晶硅层包含光学耦合连接的外延型光栅FP腔和微环谐振腔,所述外延型光栅FP腔的外延型光栅形成于SOI基体外侧,为外凸型齿状光栅。所述生化传感芯片的SOI基体的单晶硅层还包括狭缝光波导。由于在方案中引入狭缝光波导结构,而狭缝波导能够将光极大的限制在狭缝区域以增强光和物质之间的相互作用,其优势在于狭缝空间中的光能量密度远远大于倏逝场中光能量的密度,光与物质相互作用更强,检测灵敏度更高。并可以在达到相同传感性能的条件下,有利于实现光学生化传感器的微型化与片上传感系统。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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