发明专利
专利类型2013101819580
专利号专利号 | 2013101819580 | 专利名称 | 一种增强型狭缝光波导光栅FP腔光学生化传感芯片 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N21/45 |
申请人 | 天津瑞晟昱发激光科技有限公司 | 申请地址 | 四川省成都市成都高新区高朋大道5号1栋110室 |
发明人 | 王卓然;袁国慧;高亮 | 申请日期 | 2013-05-16 |
下证状态 | 更新时间 | 2022-09-19 11:23:20 | |
专利摘要 | 本发明的一种增强型狭缝光波导光栅FP腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体,中心狭缝槽位于基体长度方向的中心轴线上,长度与基体所述中心轴线相等,增强狭缝槽对称分布与中心狭缝槽两边,方向与中心狭缝槽一致,所述增强狭缝槽位于所述光栅FP腔的两个光栅之间的区域。本发明的光学生化传感芯片通过在顶部的单晶硅层形成光栅FP腔检测外界物质对光信号的影响,同时引入狭缝光波导结构,使光信号的检测从传统的倏逝场转向狭缝空间,其优势在于狭缝空间中的光能量密度远大于倏逝场中光能量的密度,光与物质相互作用更强,使检测灵敏度更高,检测难度进一步降低。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
专利状态:
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询价专利状态:未知
专利类型:实用新型
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