欢迎来到中细软旗下技术转移平台
请登录技术转移平台
-
-
一种耐高温高质量SOI基剥离Ge薄膜的制备方法
-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2019109383204
专利号
-
专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2019109383204 | 专利名称 | 一种耐高温高质量SOI基剥离Ge薄膜的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/78(2006.01),H01L21/324(2006.01) |
| 申请人 | 闽南师范大学,厦门大学 | 申请地址 | 福建省漳州市芗城区县前直街36号 |
| 发明人 | 柯少颖 | 申请日期 | 2019-09-30 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-14 07:02:40 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种耐高温高质量SOI基剥离Ge薄膜的制备方法，首先利用多晶Ge薄膜作为Ge/SOI键合中间层实现SOI基Ge薄膜的智能剥离，再将SOI基Ge薄膜放置在N<sub>2</sub>氛围内进行高温热退火，实现Ge薄膜中不均匀应变的释放、点缺陷的修复和无气泡坑Ge表面的获得，是一种简单、低成本且极其有效的高质量SOI基剥离Ge薄膜的制备方法。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
优质专利推荐
-
一种建筑施工用安全吊篮
专利状态：未知
专利类型：发明专利
询价
-
一种面向暴雨灾害链的多模型耦合交通动态风险评估方法
专利状态：未知
专利类型：发明专利
询价
-
一种基于互联网的计算机数据管理方法及系统
专利状态：未知
专利类型：发明专利
询价
-
一种面向内涝情景下城市道路交通孤岛的挖掘方法
专利状态：未知
专利类型：发明专利
询价
- 品类齐全，快速响应
- 专业顾问一对一服务
- 服务流程追踪更安全
400-700-0065
全国免费服务热线
- 细软在线电商小程序
- 细软知识产权公众号
登录成功
您的咨询我们已收到，稍后会有专业顾问与您联系。