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化学气相沉积法在FeS表面生长MoS的冷却系统

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专利号 2018100901523 专利名称 化学气相沉积法在FeS表面生长MoS的冷却系统
专利类型 发明专利 国际分类 C23C16/30;C23C16/46
申请人 太原理工大学 申请地址 山西省太原市迎泽西大街79号
发明人 郝惠敏;杨如森;凯瑞·詹金斯;熊晓燕;许一谦;黄家海;赵斌;韩晓红 申请日期 2018-01-30
下证状态 未知 更新时间 2023-06-27 08:46:54
专利摘要 本发明公开了一种化学气相沉积(CVD)法在FeS2表面生长MoS2的冷却系统,以解决CVD法在FeS2基底上生长MoS2过程中对FeS2实时冷却的技术问题。该冷却系统包括冷却器、第Ⅰ外管、第Ⅱ外管、第Ⅲ外管、进水管、回水管、两个管接头、连接法兰、两个连接套筒、两个支腿和FeS2承载架。该冷却系统可以在热反应炉的石英管内对FeS2进行降温冷却,且具有冷却温度可调节、成本低、易于安装等优点。

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