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一种多波长可调谐显微干涉的测量方法及其装置
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016111058255
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016111058255 | 专利名称 | 一种多波长可调谐显微干涉的测量方法及其装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01B9/02;G01B11/24 |
| 申请人 | 苏州大学 | 申请地址 | 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号 |
| 发明人 | 马锁冬 | 申请日期 | 2016-12-05 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-04-18 08:26:49 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种多波长可调谐显微干涉的测量方法及其装置。多波长可调谐激光器经调控同步或分时输出三路波长可调谐激光信号，经合束光纤复合为一路复合激光信号，聚焦耦合至匀速旋转的毛玻璃片表面，再经准直扩束镜后成为平行光入射至分束器表面，反射进入干涉显微物镜后，照射至载物台上的被测元件表面，其反射信号再依次通过干涉显微物镜和分束器，经成像镜头耦合至彩色相机靶面，由计算机实现对输出信号的调控和对采集数据的同步控制。本发明采用多个不同波长的单波长可调谐激光器模块的技术方案，实现光学移相和多波长干涉检测，尤其适用于对面形变化复杂、非连续的微结构元件的快速、精确测量，可有效抑制因机械部件扫描移动引入的测量误差。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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