发明专利
专利类型未知
专利状态2016108292030
专利号专利号 | 2016108292030 | 专利名称 | 全息制作表面拉曼增强基底的方法与光刻系统 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N21/65;G03F7/20 |
申请人 | 苏州大学 | 申请地址 | 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 |
发明人 | 邹文龙;吴建宏;蔡志坚 | 申请日期 | 2016-09-19 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-04-18 08:25:04 |
专利摘要 | 本发明公开了一种制作表面拉曼增强基底的方法与光刻系统,利用两束相干光产生干涉,在光刻胶表面记录相干光的干涉条纹,通过控制两束光的角度,精密控制光栅的周期;再通过实时显影在光刻胶表面形成浮雕型的光栅;最后在光栅表面用镀膜设备镀一层表面增强拉曼散射金属活性层。解决了用简单的方法与设备来得到大面积周期性表面拉曼增强基底的技术难题。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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