发明专利
专利类型未知
专利状态2016105044503
专利号专利号 | 2016105044503 | 专利名称 | 一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01B11/24 |
申请人 | 苏州大学 | 申请地址 | 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 |
发明人 | 郭培基;陈曦;范建彬 | 申请日期 | 2016-07-01 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-04-18 08:23:30 |
专利摘要 | 本发明公开了一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案使用两块能将平行光调制成柱面光波的汇聚镜分别与待测柱面组合,测试获得带有汇聚镜和待测柱面的组合波面误差数据,然后将两块柱面汇聚镜组合,获得两块柱面汇聚镜的组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测柱面以及两个柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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