发明专利
专利类型未知
专利状态2016105046195
专利号专利号 | 2016105046195 | 专利名称 | 一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01B11/24 |
申请人 | 苏州大学 | 申请地址 | 江苏省苏州市相城区济学路8号 |
发明人 | 郭培基;陈曦;范建彬 | 申请日期 | 2016-07-01 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-04-18 08:23:29 |
专利摘要 | 本发明公开了一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案分别使用柱面汇聚镜与柱面发散镜与待测凹柱面组合,通过干涉测量分别获得柱面发散镜和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚镜和待测凹柱面的组合波面误差数据,然后通过干涉测量获得柱面发散镜与柱面汇聚镜组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散镜以及柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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