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专利号	2016102423531	专利名称	一种电子束准直装置及电子束准直系统
专利类型	发明专利	国际分类	H01L21/04;H01L29/02
申请人	苏州大学	申请地址	江苏省苏州市工业园区仁爱路199号
发明人	尤文龙;王雪峰	申请日期	2016-04-19
下证状态	未知	更新时间	2023-04-18 08:22:06
专利摘要	本发明提供的一种电子束准直装置及电子束准直系统，其中，一种电子束准直装置，包括准直模块，该准直模块包括叠在一起的三层外尔半金属薄膜，三层外尔半金属薄膜中位于两侧的两层外尔半金属薄膜为相同的薄膜，且位于中间的外尔半金属薄膜与位于两侧的外尔半金属薄膜的外尔节点能量不同，以由垂直外尔半金属薄膜射入准直模块且能量在预设能量范围内的电子中获取横向动量在预设动量范围内的电子并射出。由此，由垂直外尔半金属薄膜射入的电子中获取到横向动量在预设动量范围内的电子，进而将其射出，其中，预设动量范围为0或者接近于0的范围，因此，射出电子不会在横向动量的影响下偏移原来的轨道运动，准直效果较佳。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件