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专利号	2015109057442	专利名称	小范围激光平动扫描镜装置
专利类型	发明专利	国际分类	G02B26/12
申请人	苏州大学	申请地址	江苏省苏州市相城区济学路8号
发明人	范立成;张来峰;刘思奇	申请日期	2015-12-09
下证状态	未知	更新时间	2023-04-18 08:19:28
专利摘要	本发明公开了一种小范围激光平动扫描镜装置，包括外壳壳体、X轴平移台、Y轴平移台、Z轴平移台和聚焦镜，Z轴平移台上下移动安装在外壳壳体上，X、Y、Z轴平移台成串联连接，X轴平移台前后移动安装在Z轴平移台上，Y轴平移台左右移动安装在X轴平移台上，X、Y、Z轴平移台上分别固定安装有X、Y、Z反射镜，X、Y、Z反射镜分别与X、Y、Z轴呈45度角，X反射镜与Z反射镜相对设置且位于同一水平线上，Y反射镜与X反射镜相对设置且位于同一水平线上，聚焦镜水平安装在Y轴平移台上，聚焦镜位于Y反射镜的正下方。该装置能够避免出现枕形畸变以及离焦误差，聚焦斑点大小稳定，控制方便，能够实现小范围的激光精准扫描。

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	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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