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一种三频高密度等离子体辅助磁控溅射薄膜的制备方法
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2014101252230
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2014101252230 | 专利名称 | 一种三频高密度等离子体辅助磁控溅射薄膜的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/35 |
| 申请人 | 苏州大学 | 申请地址 | 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号 |
| 发明人 | 叶超;王响英;张苏 | 申请日期 | 2014-03-31 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-04-18 08:10:12 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种三频高密度等离子体辅助磁控溅射薄膜的制备方法，采用60MHz甚高频磁控溅射装置、通过13.56MHz射频线圈电感耦合放电和27.12MHz射频基片台放电增强的高密度等离子体制备薄膜。本发明公开的新的三频高密度等离子体磁控溅射薄膜制备方法，在溅射过程中利用三频放电获得高等离子体密度、高离子通量、宽离子能量，解决了现有技术中反应溅射时等离子体密度低、活性低的缺点，所得产物薄膜的成分与理论接近，性能符合实际要求，有利于先进薄膜工业化生产与应用。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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