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一种金属纳米线网络、及其制备方法

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专利号 2018104715887 专利名称 一种金属纳米线网络、及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B82Y30/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/58
申请人 五邑大学 申请地址 广东省江门市蓬江区东成村22号
发明人 杨为家;刘均炎;何鑫;沈耿哲;刘俊杰;刘铭全;王诺媛;刘艳怡;江嘉怡 申请日期 2018-05-17
下证状态 未知 更新时间 2023-03-01 10:15:03
专利摘要 本发明提供一种金属纳米线网络、及其制备方法,该纳米线包括由下至上排列的衬底和金属纳米线,其制备步骤包括S1)、将清洗干净的衬底放入溅射仪中,然后抽真空,在10‑2Pa时,通入氩气,溅射金属靶材,得到厚度为5‑30nm的非晶态的金属非晶纳米薄膜;S2)、将制备好的金属非晶纳米薄膜转移到管式退火炉中,先以0.4L/min的流量通入15min的纯度99.999%的氮气,排空管式炉中的氧气,然后将氮气的流量调整为0.1‑0.3L/min,按照2‑5℃/min的升温速率将管式退火炉中的温度升至300‑600℃,保温0.5‑20min,非晶态的金属非晶纳米薄膜在高温下缓慢结晶,薄膜缓慢收缩,在氮气的辅助下逐步形成结晶态的金属纳米线网络,本发明制备简单、适用范围广、导电性能好,金属纳米线网络的可控生长,制备成本低。

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卖方 企业营业执照
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