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一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法

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专利号 2018108409486 专利名称 一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/0296;B82Y30/00;H01L31/0352;H01L31/18;B82Y40/00;H01L31/09
申请人 五邑大学 申请地址 广东省江门市蓬江区东成村22号
发明人 杨为家;沈耿哲;何鑫;梁萍;刘俊杰;刘铭全;刘艳怡;王诺媛;陈毅湛 申请日期 2018-07-27
下证状态 未知 更新时间 2023-03-01 10:14:57
专利摘要 本发明涉及一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法。经过制备混合溶液、多层薄膜、高温烧结、金属纳米粒子、电极等步骤制备所述基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器。本发明所述制备方法适用范围广,可以在多种大尺寸衬底上实现基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备,有利于降低生产成本,而且制造设备简单,工艺成熟,方便规模化生产,另外,本发明所述的紫外光电探测器光电响应性能优良。

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