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专利号	2016109054951	专利名称	基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01N21/88
申请人	淮阴师范学院	申请地址	江苏省淮安市长江西路111号
发明人	边心田;雷枫	申请日期	2016-10-18
下证状态	未知	更新时间	2022-09-19 11:45:46
专利摘要	本发明公开了一种基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法，包括：分别调整入射的光源为平面光波、待检测的光学薄膜的表面与平面光波垂直；平面光波依次经过光栏、光学薄膜、第一准直透镜和柱状透镜后，通过微分干涉形成两束平行的出射光；两束平行的出射光经过第二准直透镜，在光电探测器上成像为微分干涉图像；对微分干涉图像进行分析，获取光学薄膜的表面和内部缺陷。本发明利用微分干涉获取光学薄膜表面以及内部的具有较强立体感的清晰图像，易于进行缺陷的分辨，不仅可以同时检测上表面、下表面以及内部缺陷，且检测结果不受外界环境的背景光以及光学薄膜表面反光特性的影响，具有容易实现和成本低廉等优点，适于在工厂生产线推广普及。

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	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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