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一种提高检测精度的光热探测器及其制备方法

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专利号 201810772702X 专利名称 一种提高检测精度的光热探测器及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/18;H01L31/09;H01L31/0232
申请人 刘翡琼 申请地址 陕西省西安市长安区陕西师范大学家属院7号楼402
发明人 刘翡琼 申请日期 2018-07-14
下证状态 未知 更新时间 2022-09-19 11:43:15
专利摘要 本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种提高检测精度的光热探测器及其制备方法,光热探测器由基底层、介质层、纳米层和挡光层由下及上依次连接构成,纳米层上设有第一纳米孔,第一纳米孔内填充有贵金属颗粒,挡光层上设有与第一纳米孔相同的第二纳米孔,第一纳米孔和第二纳米孔上下位置相对,纳米层两侧分别设有第一电极和第二电极用于连接外电路,纳米层由热敏感材料制成,挡光层由硅材料制成,解决了光热探测器对于无法准确探测固定面积对于光子的吸收及其光热转化效率的问题,通过该固定面积吸收来达到精确测定其光子吸收和光热转化的目的,结构简单,使用方便。

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身份证
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