发明专利
专利类型未知
专利状态2015103722269
专利号专利号 | 2015103722269 | 专利名称 | 制备铁酸铋薄膜的装置、方法及制备太阳能电池的方法 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L31/0445;C23C26/00 |
申请人 | 重庆科技学院 | 申请地址 | 重庆市沙坪坝区虎溪大学城重庆科技学院 |
发明人 | 符春林;高荣礼;蔡苇;陈刚;邓小玲 | 申请日期 | 2015-06-30 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2022-09-19 11:43:13 |
专利摘要 | 本发明公开了一种制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置,主要在于在坩埚体侧壁上对称设置有两个相同的通气孔,通气孔上连接有通气管。使用该装置制备铁酸铋薄膜,采用现有方法在基板上沉积铁酸铋薄膜,在退火步骤中将铁酸铋薄膜置于该装置坩埚内腔,使通气管的中心线穿过铁酸铋薄膜,该装置放置在管式炉中对铁酸铋薄膜定向退火。退火过程中用较小的氧气量就使氧气在铁酸铋薄膜表面形成定向流动,从而使铁酸铋薄膜的晶粒在氧气流动方向成长较快,形成织构特征。采用本方法将铁酸铋薄膜太阳电池中的铁酸铋薄膜形成织构特征从而得到具有织构特征的铁酸铋薄膜太阳能电池。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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