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一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件

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专利号 2016100392492 专利名称 一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/0224;H01L31/032
申请人 重庆科技学院 申请地址 重庆市沙坪坝区虎溪大学城
发明人 高荣礼;符春林;蔡苇;陈刚;邓小玲 申请日期 2016-01-21
下证状态 未知 更新时间 2022-09-19 11:43:13
专利摘要 本发明公开了一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件,包括衬底,所述衬底上沉积铁电薄膜,该铁电薄膜的极化方向垂直于其表面,消除铁电薄膜器件的光伏效应中退极化场的贡献;所述铁电薄膜上沉积有呈正多边形的中心电极,铁电薄膜上还沉积有多个正多边形的边缘电极,边缘电极的数量与所述中心电极的边数相等,边缘电极阵列在中心电极的周围,中心电极的每条边与相邻的边缘电极的边平行且间隔距离为L,所述边缘电极和中心电极的材料相同且同时制备,消除铁电薄膜器件的光伏效应中肖特基势垒的贡献。特别是铁电薄膜为T相时,还可消除铁电薄膜器件的光伏效应中畴壁的贡献,从而得到具有体光伏效应的铁电薄膜器件。

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身份证
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