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一种高效率太阳能电池的制备方法

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专利号 2013105807741 专利名称 一种高效率太阳能电池的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/18
申请人 金陵科技学院 申请地址 江苏省南京市江宁区弘景大道99号
发明人 王淮庆 申请日期 2013-11-19
下证状态 已下证 更新时间 2022-09-19 11:41:19
专利摘要 本发明公开了一种高效率太阳能电池的制备方法,该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤:清洗制绒;三氯氧磷液态源扩散;干法刻蚀;去除PSG,清洗液配制;减反射膜制备-PECVD;丝网印刷,背电极印刷,1号烘箱,背电场印刷,2号烘箱,正电极印刷,烧结,测试分选;组件,电池片分选、单片焊接、串联焊接、叠层、层压、装框、清洗、电性能测试、包装入库。本发明通过POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好。本发明的工艺成品率较高,产生的缺陷和位错较少,形成的欧姆接触,接触电阻小,具有优良的导电性,纯度适当,化学稳定性好。

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