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一种锡锑硫薄膜的化学浴制备方法

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专利号 2018112861635 专利名称 一种锡锑硫薄膜的化学浴制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/18;H01L21/02
申请人 金陵科技学院 申请地址 江苏省南京市江宁区弘景大道99号
发明人 王威;张桂湘;丁玲;王江图;咸贵阳;王梦琴 申请日期 2018-10-31
下证状态 已下证 更新时间 2022-09-19 11:41:18
专利摘要 本发明涉及一种锡锑硫薄膜的化学浴制备方法,其包括如下步骤:(a)衬底清洗与预处理;(b)化学浴溶液(含有Sn2+、S2‑、Sb3+的混合溶液)配制;(c)采用化学浴法在水浴锅中沉积锡锑硫薄膜;(d)在氮气气氛或硫气氛下退火制备高质量锡锑硫薄膜。本发明所提供的低成本的化学浴法制备锡锑硫薄膜不需要昂贵的设备且原材料易得,操作简单,能够适合于任何形状和性质的衬底,控制好各工艺可以制备出具有优异光电性能的锡锑硫薄膜,为制备低成本且高效的太阳电池吸收层薄膜材料奠定基础。

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