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专利号	2013101798762	专利名称	一种混合制程的虚拟测量方法与系统
专利类型	发明专利	国际分类	G01R31/00;H01L21/67
申请人	江苏大学	申请地址	江苏省镇江市京口区学府路301号
发明人	潘天红;陈山	申请日期	2013-05-15
下证状态	已下证	更新时间	2022-09-19 11:38:23
专利摘要	本发明公开了一种混合制程的虚拟测量方法与系统，包括生产机台、APC系统、错误侦测分类系统、数据收集引擎与处理系统和质量测试仪。生产机台在APC系统的操控下，对待加工产品执行加工过程；错误侦测分类系统监控生产机台的整个加工过程，并记录所有过程变量的数据；质量测试仪抽样检测加工后的产品质量；数据收集引擎与处理系统通过耦接在错误侦测分类系统与质量测试仪的数据线，收集全生产过程的数据，进行数据处理以及虚拟测量模型的参数辨识，并预测未抽样的、多种规格产品的质量。本发明利用所建立的虚拟测量模型，可对整个加工过程的产品质量进行评估，实现对“量少样多”的产品质量预测，并提高“量少”产品质量的预测精度。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件