欢迎来到中细软旗下技术转移平台
请登录技术转移平台
-
-
一种多用途硅微纳米结构制备技术
院校-
发明专利
专利类型 - 专利状态
-
2008101831350
专利号
-
专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2008101831350 | 专利名称 | 一种多用途硅微纳米结构制备技术 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01G9/20;H01L31/18;B82B3/00;H01M4/04;G01N21/00;H01G9/04;H01M14/00 |
| 申请人 | 北京师范大学 | 申请地址 | 北京市新街口外大街19号 |
| 发明人 | 彭奎庆;王新 | 申请日期 | 2008-12-12 |
| 下证状态 | 更新时间 | 2022-09-19 11:18:35 | |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种多用途硅微纳米结构制备技术，属于新材料制备技术领域。本发明将金属催化硅腐蚀技术与光刻技术相结合，研制出了一种大面积高度有序硅微纳米结构阵列的制备方法。即利用电子束或紫外光等曝光技术将光刻掩模板上的微结构图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的清洁硅片表面，进而获得腐蚀时所需要的、有抗蚀剂保护的图形。利用高真空热蒸发等技术在处理后的硅片表面沉积金属银膜，并将硅片表面的抗蚀剂及覆盖在其上面的银膜去除后，将硅片浸入含有氧化剂的氢氟酸腐蚀溶液的密闭容器中处理10-100分钟，便得到大面积有序硅微纳米结构阵列。这种大面积有序硅微纳米结构在太阳能电池、锂电池负极材料、气敏元件以及活性表面增强拉曼光谱术衬底等领域具有广泛的应用前景。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
优质专利推荐
-
免疫荧光色带定量检测系统及其应用
专利状态：
专利类型：发明专利
询价
-
一种治疗创伤、糖尿病足和皮肤溃烂的中药组合物及其制备方法
专利状态：
专利类型：发明专利
询价
-
百页风力发电机
专利状态：
专利类型：发明专利
询价
-
一种自助咽拭子取样设备
专利状态：未知
专利类型：实用新型
询价
- 品类齐全，快速响应
- 专业顾问一对一服务
- 服务流程追踪更安全
400-700-0065
全国免费服务热线
- 细软在线电商小程序
- 细软知识产权公众号
登录成功
您的咨询我们已收到，稍后会有专业顾问与您联系。