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一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器

  • 实用新型

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  • 2023235923168

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专利号 2023235923168 专利名称 一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器
专利类型 实用新型 国际分类 C30B 29/06 (2006.01),C30B 15/14 (2006.01)
申请人 迪森(常州)能源装备有限公司 申请地址 江苏省常州市新北区创业西路21号
发明人 史大松,李进一 申请日期 2023-12-28
下证状态 未知 更新时间 2026-09-15 17:19:02
专利摘要 本实用新型公开了一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器,该底部加热装置包括石墨加热器及电极,石墨加热器包括加热器本体及电极脚,加热器本体包括二个主体部、第一加热部、第二加热部及第三加热部,第二加热部位于第一加热部、第三加热部之间,且第二加热部的加热总面积大于第一加热部的加热总面积,第三加热部的加热总面积小于或等于第三加热部的加热总面积。上述底部加热装置通过在原石墨加热器结构的基础上,将其分成第一加热部、第二加热部及第三加热部,根据坩埚加热区域的区别,以第二加热部的加热总面积为最大,以节约其他部位的加热用能,降低能耗。

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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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