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基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
202511245493X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 202511245493X | 专利名称 | 基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B08B 7/00 (2006.01),B08B 5/04 (2006.01),B08B 13/00 (2006.01),G01N 21/94 (2006.01) |
| 申请人 | 深圳市微光睿智科技有限公司 | 申请地址 | 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科苑南路3170号留学生创业大厦一期607 |
| 发明人 | 严敏聪,李敬敏,殷俊 | 申请日期 | 2025-09-02 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-19 17:17:27 |
| 专利摘要 | 本发明属于半导体制造及除尘技术领域，尤其公开了一种基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法。所述基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置包括：外壳，作为半导体器件表面除尘装置整体的框架；显示屏，活动安装于外壳一端，用于对半导体器件表面除尘过程中进行检测和观察；表面除尘装置包括：输送架，固定安装于外壳内壁底端，用于对半导体器件进行输送；视觉检测结构，固定安装于外壳内部，用于对半导体器件表面的灰尘进行视觉检测；通过可调范围的吸附罩确保了作用范围与污染区域高度一致，使得吸附力更加集中和高效，这种协同的除尘方式，提高对灰尘的捕获能力和成功率，尤其对于粘附力较强的灰尘效果显著。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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