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专利号	2019100115309	专利名称	基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法
专利类型	发明专利	国际分类	B81B3/00,B81C1/00,B82Y30/00,B82Y40/00,C01B32/159,G01B7/16
申请人	四川理工学院	申请地址	四川省宜宾市临港经济技术开发区大学城188号
发明人	郑富中	申请日期	2019-01-07
下证状态	未知	更新时间	2026-10-21 19:08:11
专利摘要	本发明提供基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法，利用硅微加工技术，在柔性基底上设置电极对；然后通过交流耦合介电电泳的方法，使单壁碳纳米管在悬浮液中的电场力作用下定向沉积在柔性基底上的电极对间；接着配比饱和的Au电镀液，实施区域选择性电沉积Au技术，实现Au电极上的定域沉积Au压覆单壁碳纳米管。本发明实现了单根或单束单壁碳纳米管的一维定向排布，提高器件的灵敏性和稳定性，易于工业化生产。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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