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基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构

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专利号 2023104738235 专利名称 基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构
专利类型 发明专利 国际分类 G01N21/01(2006.01),G01N21/13(2006.01),G01N1/34(2006.01)
申请人 滨州学院 申请地址 256600 山东省滨州市黄河五路391号
发明人 刘妮 申请日期 2023-04-28
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-17 17:22:59
专利摘要 本发明公开了基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构,包括智能传送组件、液压升降组件、连接板、光学测量组件和除尘箱,所述智能传送组件的背部固定安装有液压升降组件。该基于智能下料的半导体材料器件多方位测量机构,通过液压升降组件实现对遮光罩和光学测量组件的升降,以便于在对半导体材料器件进行测量的过程中通过遮光罩对环境光进行遮蔽,并且该测量机构还利用液压升降组件在升降过程中产生的动能联动吸尘动力机构,配合除尘箱、集流管和吸尘口对半导体材料器件表面粘接的灰尘进行有效的清除,有利于避免环境光和灰尘造成测量的误差,提高了该半导体材料器件多方位测量机构的结构联动性和测量精准性。

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身份证
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