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一种用于半导体材料的制备设备
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2021113306585
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021113306585 | 专利名称 | 一种用于半导体材料的制备设备 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B05B13/04(2006.01),B05B9/01(2006.01),B05B16/00(2018.01),B05B16/60(2018.01),B05B14/40(2018.01),B08B1/00(2006.01) |
| 申请人 | 黄玮婷 | 申请地址 | 518021 广东省深圳市罗湖区沿河北路2012号宁水花园13栋302 |
| 发明人 | 黄玮婷 | 申请日期 | 2021-11-11 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-19 17:17:27 |
| 专利摘要 | 本发明提供一种用于半导体材料的制备设备，包括箱体、箱门、夹持装置、镀膜装置和清理装置；所述箱体的前侧设置有开口，所述箱门可拆卸地盖合于所述箱体的开口，所述箱体内部固定设置有一加工台，所述加工台用于放置半导体；所述夹持装置和镀膜装置均设置于所述箱体内部，所述夹持装置用于夹持所述半导体，所述镀膜装置用于对所述半导体镀膜；所述清理装置设置于所述箱体上，用于清理所述加工台。相对于现有技术，本发明通过设置清理装置对加工台进行清洁，能够将加工台表面清洁干净，能够将加工台表面的废料清理掉，避免废料附着在加工台表面影响镀膜效率，能够对夹板起到保护的作用，增加夹板的使用寿命。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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