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专利号	2020104757849	专利名称	基于二氧化钛光子晶体的氮化镓基面激光器及制备方法
专利类型	发明专利	国际分类
申请人	南京邮电大学	申请地址
发明人	刘启发	申请日期	2020-05-29
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-19 17:17:27
专利摘要	本发明公开了一种基于二氧化钛光子晶体的面发射型氮化镓基激光器及制备方法，包括蓝宝石衬底层、n‑GaN层、n‑AlGaN层、波导n‑GaN层、n‑电极、InGaN/GaN成对组成的多层量子阱有源层、p‑GaN层、p‑电极、TiO<sub>2</sub>光子晶体层。本发明采用了TiO<sub>2</sub>作为光子晶体层的材料，实现了对光场模式分布的有益调控，能实现在光子晶体内的高效耦合，更有利于激光器低阈值的实现。采用了在晶片表面生长制备光子晶体层，相比传统的在晶片材料内部引入光子晶体的方法更为简单方便，降低了制备加工的难度。

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