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专利号	2018109404954	专利名称	一种半导体基板搬运装置
专利类型	发明专利	国际分类	H01L21/677,H01L21/67
申请人		申请地址	浙江省湖州市长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园二期5号厂房一楼
发明人		申请日期	2018-08-17
下证状态	未知	更新时间	2026-09-19 17:17:27
专利摘要	本发明公开了一种半导体基板搬运装置，包括进料支撑架，弯转输出架的输出端口固定连接有出料传输架，传输轴的中间位置固定连连接有进料传输轮，弯转转轴的中间位置固定连接有弯转传输轮，出料传输架的中间位置均匀转动连接有出料传输轮，弯转输出架的内侧固定连接有支撑连杆，支撑连杆远离弯转输出架的一端固定连接有精准弯转辅助机构，出料传输架的中间位置固定连接有风洁机构，本发明涉及半导体技术领域。该半导体基板搬运装置，达到了提高半导体基板的弯转传输精度，避免半导体基板传输过程中与设备之间的碰撞，保证半导体基板不受损坏，清除传输过程中基板的浮尘颗粒，保证基板表面洁净度，提高基板后续加工的精确度的目的。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件