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一种光刻机的晶片传送装置
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2025110506395
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2025110506395 | 专利名称 | 一种光刻机的晶片传送装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L 21/677 (2006.01),H01L 21/683 (2006.01),G03F 7/20 (2006.01) |
| 申请人 | 惠州君弘自动化设备有限公司 | 申请地址 | 广东省惠州市大亚湾西区龙海二路2号 |
| 发明人 | 文刚建,李来金,叶昌珊 | 申请日期 | 2025-07-29 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-19 17:17:27 |
| 专利摘要 | 本发明提供一种光刻机的晶片传送装置，涉及半导体材料生产技术领域，包括：对接座；所述对接座与机械臂固定连接，对接座外部连接有支撑架，支撑架外部固定连接有中空圆座；所述中空圆座内部环绕安装有六个内转块，内转块外部连接有拉杆，拉杆位于中空圆座内部；所述中空圆座外部连接有六个负压吸盘，内转块与负压吸盘相连，负压吸盘与负压泵相连。能够根据晶圆片规格的不同，精准改变六个负压吸盘之间的间隔距离，更好地满足各类不同规格晶圆片在吸附传送过程中的多样化需求。解决了现有光刻机所配置的晶片传送装置设计阶段，依据单一规格的晶圆片进行定制化生产，其结构与尺寸严格适配特定规格晶圆片的固定传送需求，应用局限性较大的问题。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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