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一种晶圆生产用转移设备
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2024111667243
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2024111667243 | 专利名称 | 一种晶圆生产用转移设备 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L 21/677 (2006.01),H01L 21/687 (2006.01) |
| 申请人 | 苏州赛美达半导体科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11号楼302-5 |
| 发明人 | 杜春辉,冯建炜 | 申请日期 | 2024-08-23 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-17 17:22:59 |
| 专利摘要 | 本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产用转移设备，包括底座和转移机构，转移机构包括边板和外导轨，边板和外导轨均设置有两个，两个外导轨之间设置有限位机构，限位机构包括四个滑动组件和限位夹板，滑动组件包括圆形结构的滑块、连接杆和活动块，滑块和连接杆均设置有两个，两个滑块均滑动连接在外导轨和边板之间，滑块的一侧与链条固定连接，连接杆与滑块一一对应，连接杆固定连接在滑块的一侧，活动块与连接杆固定连接，限位夹板设置有四个并分别固定安装在同一限位机构内的四个活动块上。分发明通过驱动电机驱动链条转动，进而通过滑块使限位机构中的限位夹板带动晶圆移动，提高晶圆在清洗时的位置的精确性。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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