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专利号	201910956935X	专利名称	以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01B7/16
申请人	青岛山海微电子有限公司	申请地址	山东省青岛市黄岛区前湾港路579号山东科技大学科技园产业楼308室
发明人	陈达	申请日期	2019-10-10
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-23 17:33:30
专利摘要	本发明涉及柔性应变传感器技术领域，提供了一种以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法。本发明在硬质基板上制造敏感层和电极结构后再进行分离，可以获得较低的传感器厚度，以及具有更好的柔性，易于将传感器安装在关节、皮肤、骨骼等复杂曲面。可采用成熟的柔性电路板(FPCB)技术制造表面有电极的聚酰亚胺(PI)薄膜，电极阵列制备简单，重复性高、电阻小，且拉伸状态电学连接稳定；聚酰亚胺层被刻蚀后，仅保留较薄的金属电极贴合与敏感层表面，其微结构化产生的效果更加明显；敏感层可实现多层微结构累加，适合更宽的检测范围和应用环境。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件