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用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021114583439
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021114583439 | 专利名称 | 用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N27/04(2006.01) |
| 申请人 | 南通大学 | 申请地址 | 226019 江苏省南通市啬园路9号 |
| 发明人 | 宋长青 | 申请日期 | 2021-12-02 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-10-25 17:30:00 |
| 专利摘要 | 一种用于脉冲喷雾式制造湿度传感器芯片的装置，包括用于容置矩形衬底的腔体，腔体内部相对设置有第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴；第一雾化喷嘴和第二雾化喷嘴分别用于交替脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料；第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料的电阻率敏感依赖于环境湿度；第一雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第一湿度敏感材料，衬底上沉积的第一湿度敏感材料的分布密度逐渐降低；第二雾化喷嘴用于向矩形衬底脉冲式雾化喷射第二湿度敏感材料，衬底上沉积的第二湿度敏感材料的分布密度逐渐降低。第一雾化喷嘴、第二雾化喷嘴、第一射流式雾化器、第二射流式雾化器均为固定设置，避免了制造装置容易疲劳损坏的问题。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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