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一种图像传感器的形成方法

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专利信息

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专利号 202110022981X 专利名称 一种图像传感器的形成方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L 27/146 (2006.01)
申请人 尤小月 申请地址 江苏省苏州市相城区北桥镇灵峰村(17)葛家浜57号
发明人 尤小月 申请日期 2021-01-08
下证状态 未知 更新时间 2026-09-23 17:33:30
专利摘要 一种图像传感器的形成方法,包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成栅沟槽,在所述栅沟槽的底部和侧面形成溢出栅绝缘层,在所述溢出栅绝缘层上形成溢出栅电极,所述溢出栅绝缘层与所述溢出栅电极组成溢出栅极结构,所述溢出栅极结构具有第一侧表面和相对于第一侧表面的第二侧表面;在所述溢出栅极结构的第一侧表面半导体衬底中形成二极管掺杂区;在所述溢出栅极结构的第二侧表面半导体衬底中形成溢出漏区,所述溢出漏区电连接电源线;所述溢出栅极结构的深度小于所述二极管掺杂区的深度且大于所述溢出漏区的深度。所述图像传感器的性能得到提高。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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