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一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2023110454480
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2023110454480 | 专利名称 | 一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B08B 9/093 (2006.01),B08B 9/087 (2006.01),B08B 13/00 (2006.01),B08B 3/12 (2006.01) |
| 申请人 | 南通罡丰科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省南通市南通高新区金桥西路一号聚恒工业园12号 |
| 发明人 | 奚衍罡,王洁,李海飞,马嘉骏 | 申请日期 | 2023-08-18 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-23 17:33:30 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺，涉及到碳化硅技术领域，包括放置有石墨坩埚的承载板，还包括深度水洗单元和升降单元。本发明结构合理，本装置采用高压去离子水冲洗和超声波清洗相结合的方式对石墨坩埚内腔的深度积炭进行处理，清洗效果好也不存在引入新杂质以及腐蚀问题，且利用高压水的反作用力带动旋转冲洗单元做旋转上升运动，实现对石墨坩埚内壁的全面清洗同时也使得在超声波清洗时旋转冲洗单元移出石墨坩埚内腔，避免阻碍气泡与石墨坩埚内壁面接触而影响清洗效果，同时采用边清洗边过滤循环使用的方式保护清洗液的洁净度，有利于提高清洗效果。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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