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一种晶圆封装芯片的锡球制造设备及其加工工艺

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  • 2021103236891

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专利号 2021103236891 专利名称 一种晶圆封装芯片的锡球制造设备及其加工工艺
专利类型 发明专利 国际分类
申请人 金易芯半导体科技(嘉兴)有限公司 申请地址
发明人 胡弘鹏 申请日期 2021-03-26
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-23 17:33:30
专利摘要 本发明公开一种晶圆封装芯片的锡球制造设备及其加工工艺,属于锡球生产领域;一种晶圆封装芯片的锡球制造设备包括定模、动模、销杆、推杆、下压机构、锁紧机构以及抛光机构;通过在定模内间隙配合有销杆来实现排气,并通过将销杆与推杆连接起来,实现锡球的脱模;通过设置下压机构,来实现加速锡球铸造过程中的排气,减少气孔的发生,同时压块与定模以及动模共同构成完成的球面,保证锡球的圆度;通过设置锁紧机构,避免动模与定模合模后发生回撤,导致合模失败;通过在定模的下方设置抛光机构,来实现对锡球表面毛刺的去除;一种晶圆封装芯片的锡球加工工艺包括:合模上料、开模卸料以及抛光。

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身份证
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