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基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2024101395420
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2024101395420 | 专利名称 | 基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G06T 7/00 (2017.01),G06T 7/11 (2017.01),G06T 7/12 (2017.01),G06T 7/136 (2017.01),G06T 7/194 (2017.01),G06T 7/33 (2017.01),G06V 10/25 (2022.01),G06V 10/30 (2 |
| 申请人 | 广东工业大学 | 申请地址 | 广东省广州市番禺区外环西路100号 |
| 发明人 | 胡明雪,吴光栋,邓耀华,刘夏丽 | 申请日期 | 2024-02-01 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-27 17:48:02 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统，包括，采集良品硅片图像，进行自动全局阈值分割及矩形分割获取感兴趣区域；将滤波后图像进行金字塔操作，创建对应的形状轮廓，构建差异模型；利用标准硅片的训练图像对差异模型进行训练，对差异模型中的检查模板进行配准；获取待检测硅片图像提取感兴趣区域，将待检测硅片图像的感兴趣区域导入差异模型，利用检查模板进行匹配，根据匹配结果提取匹配差异。本发明利用图像金字塔增强模板匹配过程，通过多尺度匹配实现更稳健、更准确的匹配，提供缺陷的精确定位，从而提高特征检测或缺陷识别的可靠性。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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