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基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法

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  • 2018106204513

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专利号 2018106204513 专利名称 基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01S5/10
申请人 华侨大学 申请地址 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号
发明人 温秋玲 申请日期 2018-06-15
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-03 17:50:49
专利摘要 本发明提供了一种基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法,包括第一硅衬底、金属反射镜以及依次设置于所述硅衬底上的环氧树脂层、金属膜、金属层、绝缘介质层、有源层;所述金属反射镜的一端穿过所述有源层及绝缘介质层与所述金属膜抵接,所述金属反射镜的另一端暴露于空气中,所述金属层和金属反射镜组成一金属腔,作为半导体激光器的光学谐振腔。应用本技术方案可实现金属腔损耗小,不仅可以提高微腔的品质因子还可以降低激光的振荡阈值。

交易流程

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买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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专利证书
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

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