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一种基于线切割的半导体硅棒截断设备

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专利号 2019106185201 专利名称 一种基于线切割的半导体硅棒截断设备
专利类型 发明专利 国际分类 B28D5/00,B28D5/04
申请人 申请地址 福建省泉州市石狮市港塘路世联华府6栋3103
发明人 申请日期 2019-07-10
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-03 17:50:49
专利摘要 本发明公开的一种基于线切割的半导体硅棒截断设备,包括机座,所述机座内设有开口朝上的传送腔,所述传送腔内设有送料装置,所述送料装置上可设有不少于两个的夹具,所述机座上设有位于送料装置左侧的进给装置,所述进给装置内设有线切割装置,所述机座上设有位于所述进给装置左侧的传动装置,本发明的硅棒夹具通过楔形块和夹持爪可自动夹紧硅棒,夹持爪和楔形块通过固定连接在两者上的弹性橡胶块,使硅棒两端均能被硅棒夹具完全固定,从而有效避免过定位或欠定位导致的硅棒被截断时的“崩边”现象,提高了截断质量,因此本发明能有效夹紧固定硅棒,从而减少硅棒被截断时的“崩边”现象,提高硅棒截断表面的加工质量。

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办理文件副本请求书
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企业组织机构代码证
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卖方 企业营业执照
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身份证
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