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一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2023116733389
专利号
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专利信息
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| 专利号 | 2023116733389 | 专利名称 | 一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G05D 23/20 (2006.01),G06F 18/2433 (2023.01),G06F 18/10 (2023.01),B05C 11/10 (2006.01) |
| 申请人 | 深圳市精石光掩膜技术有限公司 | 申请地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区蚝业路20号20-1厂房303 |
| 发明人 | 周学文,李周坤 | 申请日期 | 2023-12-07 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-01 11:19:03 |
| 专利摘要 | 本申请提供一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质，采集光掩膜基板的甩胶温度时序数据，对甩胶温度时序数据进行差错删除和缺失填补后，得到完备甩胶温度时序数据，将完备甩胶温度时序数据矩阵化得到甩胶温度数据矩阵；根据甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵，进而确定初始甩胶温度特征矩阵；根据初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子，进而确定甩胶温度特征矩阵；根据甩胶温度特征矩阵和完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据，通过低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数确定感光胶温度预测值；通过感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间的比较结果对感光胶温度进行控制，以解决感光胶温度预测精度低的技术问题。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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