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一种湿度传感器芯片的制造方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2021113843119
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021113843119 | 专利名称 | 一种湿度传感器芯片的制造方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N27/04(2006.01) |
| 申请人 | 申请地址 | 226019 江苏省南通市啬园路9号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2021-11-22 | |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-08-24 18:01:12 |
| 专利摘要 | 一种湿度传感器芯片的制造方法，其目的在于：实现宽湿度测量范围，并且大幅度降低制造工艺复杂性和制造成本。其实现的技术方案为，采用电阻型湿度敏感材料来实现湿度传感器的制造，湿度敏感材料沉积在衬底上，衬底具有叉指电极。从衬底的第一边缘到第二边缘的方向上，沉积的第一湿度敏感材料的分布密度逐渐降低，衬底上沉积的第二湿度敏感材料的分布密度逐渐升高，湿度敏感材料组分发生连续的变化。所选择出的第一湿度敏感材料和第二湿度敏感材料具有不同的湿度敏感特性曲线，具备不同的最佳感湿范围。两种湿度敏感材料的最佳感湿范围差别越大，本发明所得到的最终湿度传感器的湿度测量范围越宽。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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