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一种通孔的激光加工方法

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专利号 2020102426466 专利名称 一种通孔的激光加工方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L21/768
申请人 福唐激光(苏州)科技有限公司 申请地址 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506
发明人 陈洁 申请日期 2020-03-31
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 08:06:06
专利摘要 本发明提供了一种通孔的激光加工方法,其通过先形成一预定高度的材料,然后对气隙位置进行激光修复,以使得所述气隙变为开口较大、深度较浅的凹孔,然后进行第二次填充材料,形成最终的导电通孔。其可以消除所述气隙,且能够使得保证通孔各位置的导电性相同,防止电流聚集或者断路。  

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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