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一种半导体芯片生产制备系统的冰粒平坦化制程结构
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2020102441216
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2020102441216 | 专利名称 | 一种半导体芯片生产制备系统的冰粒平坦化制程结构 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/67(2006.01) |
| 申请人 | 申请地址 | 250000 山东省济南市历下区解放路62号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2020-03-31 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-14 07:23:27 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种半导体芯片生产制备系统的冰粒平坦化制程结构，冰粒平坦化制程结构部分中间为高压空气输入管路，两侧依次设置为冰珠冰粒输入管路，去离子水输入管路、选择性化学品输入管路，去离子水输入管路与冰珠冰粒输入管路相连通与冰珠冰粒在冰粒与水雾混合区域混合后通过高压空气喷射嘴喷出；本发明结构简单，可与自动化控制系统连接实现自动化控制，本发明冰粒平坦化制程结构部分是本发明结构特征不可或缺的一个技术特征点，是对现有技术一次扩展性的技术创新，具有很好的推广和使用价值。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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