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不损伤基材除含氟树脂膜的退膜液及其退膜方法

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专利号 2022106992698 专利名称 不损伤基材除含氟树脂膜的退膜液及其退膜方法
专利类型 发明专利 国际分类 C09D9/04(2006.01),C23G1/19(2006.01),C23G1/20(2006.01)
申请人 University of Electronic Science and Technology of China Zhongshan Institute 申请地址 528400 广东省中山市石岐区学院路1号
发明人 孙延一;林建辉;程白恒;贾雅杰;杨遥;佘陈远 申请日期 2022-06-20
下证状态 已下证 更新时间 2026-07-10 15:07:51
专利摘要 本发明涉及一种不损伤基材除含氟树脂膜的退膜液及其退膜方法,所述退膜液由碱性氢氧化物、溶胀剂、表面活性剂、渗透剂及水组成;所述退膜方法包括将含氟树脂膜层的样品浸置于70‑90℃的退膜液中30‑90分钟,即可退除膜层。采用上述技术方案,能够完全去除基材表面的含氟树脂膜而不损伤基材;由于使用了表面活性剂、渗透剂、碱性氢氧化物和溶胀剂,四者协同可以促使膜层快速从基材表面脱落,其次,该退膜液可以反复多次使用,因此本发明的退膜液的使用成本和污染极低。

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