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一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法

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  • 2021103112259

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专利号 2021103112259 专利名称 一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类
申请人 Hebei North University 申请地址
发明人 王延峰;杨富;孟旭东;韩冰;王伟平;李俊杰 申请日期 2021-03-24
下证状态 已下证 更新时间 2026-07-10 15:07:51
专利摘要 本发明提供了一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法,分别以醋酸锌、氟化銨、硝酸铝和氯化镓为锌源、氟源、铝源、镓源和氯源,以水或无水乙醇和水溶液作为溶剂,配置成一定浓度的溶液,用蠕动泵按一定的流量将溶液推进到超声雾化发生器;用高压空气或者高压氮气作为高压载气,把经雾化发生器雾化的上述混合溶液输送至加热的衬底上,衬底为玻璃、蓝宝石或石英,衬底温度为350‑550℃,本发明在非真空条件下,以易溶于水或者醇类等的盐类为原材料,利用低成本的超声喷雾技术制备具有导电能力强、紫外‑可见‑近红外区域透过高、成本低廉、性能稳定且易于大面积生产的ZnO透明导电薄膜。

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