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一种石墨烯等离激元气体传感器及其制作方法

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专利号 2021108332471 专利名称 一种石墨烯等离激元气体传感器及其制作方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01N21/65(2006.01),G01N27/12(2006.01)
申请人 岭南师范学院 申请地址 524048 广东省湛江市赤坎区寸金路29号
发明人 赵珉 申请日期 2021-07-22
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 08:02:37
专利摘要 本发明涉及气体检测技术领域,公开了一种石墨烯等离激元气体传感器,包括包括基底、石墨烯层和贵金属颗粒层,基底、石墨烯层和贵金属颗粒层由下至上依次设置,贵金属颗粒层包括多个贵金属颗粒,贵金属颗粒位于石墨烯层的上方,贵金属颗粒可发生表面增强拉曼(SERS)效应,增强石墨烯等离激元与气体分子的相互作用,提高石墨烯层对气体的拉曼响应,从而获得等离激元增强的拉曼光谱,且贵金属颗粒还可提高石墨烯层对气体的电学响应,大大提高了传感器的灵敏度。另外,本发明的石墨烯层具有周期性纳米结构,石墨烯层和贵金属颗粒层之间设有TiO2介质层,基底包括硅衬底和设置硅衬底上的SiO2层。本发明还提供一种上述石墨烯等离激元气体传感器的制作方法。

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