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一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法

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专利号 2016107524558 专利名称 一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法
专利类型 发明专利 国际分类 B23K26/38,B23K26/08,B23K26/04
申请人 桂林电子科技大学 申请地址 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号
发明人 龙芋宏 申请日期 2016-08-29
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 07:41:55
专利摘要 本发明为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法,本装置激光刻蚀工作台上固定支撑箱体,固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直,套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连,下端固连推杆底端,使推杆底端抵于凸轮侧面。固定于支撑箱体的凸轮轴轴套上安装位置传感器。凸轮长短径的差为激光刻蚀的最大深度。本使用方法加工开始激光聚焦于工件表面,控制中心据位置传感器信号掌握凸轮当前状态,控制电机,使凸轮短长径侧面轮流与推杆底端接触,工件随工作台沿切削路径步进,同时上下振动,激光束在工件上的烧蚀点始终处于激光聚焦的位置。振动还加速切槽中的残渣碎屑的排出,带走大量的热,提高激光刻蚀效率和质量。

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卖方 企业营业执照
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身份证
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