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一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟

  • 实用新型

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  • 2022205915971

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专利号 2022205915971 专利名称 一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟
专利类型 实用新型 国际分类 H01L21/673(2006.01)
申请人 申请地址 215000 江苏省苏州市吴江七都镇新村二路160.162.166.168
发明人 申请日期 2022-03-18
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 07:19:55
专利摘要 本实用新型公开了一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟,具体涉及石英舟技术领域,包括石英舟主体,所述石英舟主体的上表面开设有放置槽,且所述放置槽的内部滑动连接有滑动架,所述放置槽远离滑动架的一侧开设有一号固定卡槽,所述滑动架靠近一号固定卡槽的一侧开设有与一号固定卡槽对应的二号固定卡槽,所述滑动架与石英舟主体之间设置有调节机构。本实用新型通过设置滑动架,由于滑动架转动连接的螺纹杆与放置槽开设的螺纹孔螺纹连接,从而通过旋钮控制螺纹杆的转动能够带动滑动架在放置槽内滑动,从而调节一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离,从而能够适应不同规格的硅片进行放置。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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