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一种扩散炉专用石英炉管

  • 实用新型

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专利信息

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专利号 2022205915897 专利名称 一种扩散炉专用石英炉管
专利类型 实用新型 国际分类 C30B33/00(2006.01),C30B29/06(2006.01),H01L21/67(2006.01)
申请人 申请地址 215000 江苏省苏州市吴江七都镇新村二路160.162.166.168
发明人 申请日期 2022-03-18
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 07:19:53
专利摘要 本实用新型公开了一种扩散炉专用石英炉管,具体涉及石英炉管领域,包括石英炉管主体,所述石英炉管主体的两端均通过轴承转动连接有转动连接板,两个所述转动连接板底部固定连接有固定连接基板,两个所述转动连接板内侧表面均设置有驱动电机,两个所述驱动电机的输出端均固定套接有驱动齿轮,所述石英炉管主体两端均固定套接有从动转环。本实用新型通过设置从动转环,通过直接在石英炉管主体的两端设置从动转环,以降低外部多设置传动零件,传动简单化,且从动转环上的从动啮合齿牙使得驱动齿轮驱动石英炉管主体时,不会打滑传动效率高于表面直接贴合摩擦作用。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
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专利证书
手续合格通知书
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买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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